Väitös 16.9.2022: Syvällisempi ymmärrys atomikerroskasvatuksesta parantaa älylaitteissakin tarvittavia ohutkalvoja (Kinnunen)
13.9.2022 08:33:00 EEST | Jyväskylän yliopisto | Tiedote
Ohuimmillaan muutaman nanometrin paksuisista ALD-kalvoista prosessoidaan puolijohteiden päälle eristäviä ja johtavia kalvoja. Tuloksena saadaan mikroprosessoreita, muisteja ja muita komponentteja.
Atomikerroskasvatusprosesseja on nykyisin satoja kymmenille eri materiaaleille, ja puolijohdeteollisuuden lisäksi niitä voidaan käyttää aurinkopaneeleissa, pakkausmateriaaleissa, hopean suojaamisessa tummumiselta ja lukemattomissa muissa tarkoituksissa. Väitöskirjassaan Sami Kinnunen tutki alumiini- ja sinkkioksidikalvoihin ALD-pinnoituksessa päätyviä epäpuhtauksia.
”Ohutkalvoihin jää usein erityisesti vetyä epäpuhtautena. Vedyn alkuperä tai mekanismi, jolla se kalvoihin päätyy, ei ole useinkaan tiedossa. Matalissa prosessilämpötiloissa kalvon atomeista yli viidennes voi olla vetyä, ja se vaikuttaa merkittävästi ohutkalvon ominaisuuksiin”, Sami Kinnunen kertoo.
Vetyepäpuhtaus voi päätyä kalvoon joko metallilähdeaineesta tai vedestä, josta oksidikalvot saavat happensa. Väitöskirjassa kalvojen happilähdeaineena käytettiin normaalin veden sijasta muun muassa raskasta vettä, jonka sisältämä deuterium voidaan erottaa metallilähdeaineista peräisin olevasta vedystä.
Vetyepäpuhtauksien havaitseminen onnistuu vain harvoilla menetelmillä
Kevyimpänä alkuaineena vety on hankala havaita ja vain muutama karakterisointimenetelmä pystyy havaitsemaan sen kalvoista.
”Jyväskylän yliopiston kiihdytinpohjaisen materiaalitutkimusryhmän käytössä oleva lentoaika-rekyylispektrometria on yksi harvoista menetelmistä vedyn määrän mittaamiseen. Sillä voidaan havaita ohutkalvoista sekä vety että jopa erottaa sen eri isotoopit toisistaan. Siten menetelmä sopii kuin nenä päähän minun tutkimustani ajatellen”, Kinnunen iloitsee. Jyväskylässä onkin vahvaa erikoisosaamista ionisuihkupohjaisiin analyysimenetelmiin ja laitteistoja on rakennettu myös muille yliopistoille.
Tutkimuksissa paljastui, että vetyä kalvoihin jättävä lähdeaine vaihtui prosessilämpötilaa nostettaessa. Vedyn määrä oli myös vahvasti riippuvainen huuhtelujen pituudesta lähdeainepulssien välissä. Tämä on tärkeä uusi tieto ja sillä on merkittävä vaikutus epäpuhtauksien määrän minimoimiseen tähtäävässä prosessien kehityksessä.
Atomikerroskasvatus aloitti maailmanvalloituksensa Suomesta, kun Tuomo Suntola patentoi menetelmän vuonna 1974. Hän saikin keksinnöstään Millenium-palkinnon 2018.
Tutkimus on toteutettu Jyväskylän yliopiston fysiikan laitoksen kiihdytinlaboratoriossa ja Nanotiedekeskuksessa.
Sami Kinnunen kirjoitti ylioppilaaksi Suonenjoen lukiosta 2009 ja filosofian maiseriksi hän valmistui 2015 Jyväskylän yliopistosta fysiikan laitokselta.
FM Sami Kinnusen väitöskirjan ” Hydrogen incorporation in Al2O3 and ZnO thin films grown by atomic layer deposition” tarkastustilaisuus perjantaina 16.9.2022 klo 12. Vastaväittäjänä professori Matti Putkonen (Helsingin yliopisto) ja kustoksena professori Timo Sajavaara. Väitöstilaisuuden kieli on suomi.
Tilaisuutta voi seurata myös etänä: https://r.jyu.fi/dissertation-kinnunen-160922
Avainsanat
Yhteyshenkilöt
Sami Kinnunen
sami.a.kinnunen@jyu.fi
Vesa HolmViestinnän asiantuntija
Puh:+358504733483vesa.j.holm@jyu.fiKuvat
Linkit
Tietoja julkaisijasta
Jyväskylän keskustassa sijaitsevan yliopiston kauniilla puistokampuksella sykkii monitieteinen ja moderni tiedeyliopisto – ihmisläheinen ja dynaaminen yhteisö, jonka 2500 asiantuntijaa ja 15 000 opiskelijaa etsivät ja löytävät vastauksia huomisen kysymyksiin. Jyväskylän yliopisto on ollut tulevaisuuden palveluksessa jo vuodesta 1863, jolloin suomenkielinen opettajankoulutus sai alkunsa täältä. Voimanlähteenämme on moniarvoinen vuoropuhelu tutkimuksen, koulutuksen ja yhteiskunnan välillä. Vaalimme tutkimuksen ja koulutuksen tasapainoa sekä ajattelun avoimuutta – sytytämme taidon, tiedon ja intohimon elää viisaasti ihmiskunnan parhaaksi. www.jyu.fi
Tilaa tiedotteet sähköpostiisi
Haluatko tietää asioista ensimmäisten joukossa? Kun tilaat tiedotteemme, saat ne sähköpostiisi välittömästi julkaisuhetkellä. Tilauksen voit halutessasi perua milloin tahansa.
Lue lisää julkaisijalta Jyväskylän yliopisto
Liikunnallinen elämäntapa parantaa työkykyä. Vaikutus yltää kouluiästä työuran loppuun18.3.2026 07:00:00 EET | Tiedote
Jyväskylän yliopistossa tehty tutkimus osoittaa, että säännöllinen vapaa-ajan fyysinen aktiivisuus nuoruudesta alkaen ehkäisee työkyvyn alenemaa työuran lopussa. Tulos on yhteiskunnallisesti merkityksellinen, sillä alentuneesta työkyvystä johtuva tuottavuuden lasku maksaa vuosittain miljardeja.Kansantalouden näkökulmasta yhteiskuntien kannattaa ennen kaikkea panostaa lasten ja nuorten liikuntaan, sanoo tutkijatohtori Perttu Laakso.
Peruskoulunsa päättäviltä kysyttiin, miksi oppimistulokset laskevat – eriytymiskehitys näkyy vastauksissa17.3.2026 13:52:57 EET | Tiedote
Siinä missä toiset nuoret saavat koulussa, kotona ja kavereiltaan runsaasti tukea ja kannustusta oppimiseen ja elämän käänteisiin, toiset kokevat jäävänsä yksin tai elävät muutoin kuormittavaa arkea. Tällöin myös opiskeluun kiinnittyminen on haastavaa. Niin ikään nuoriin kohdistuvat vaatimukset hahmottuvat nykynuorten kokemusmaailmassa eri tavoin. Osa kokee, että koulussa vaaditaan liian vähän, kun samaan aikaan toiset kuvaavat uupumista ja yhä epävarmempia tulevaisuudennäkymiä yhä varhaisemmassa vaiheessa.
Yli kaksi kolmesta opetusalan työntekijästä on kohdannut väkivaltaa työssään – tuki jää usein puutteelliseksi16.3.2026 09:57:50 EET | Tiedote
Perusopetuksessa työskentelevien arki on turvattomampaa kuin usein ajatellaan. Tuoreen tutkimuksen mukaan 68 prosenttia opettajista ja koulunkäynninohjaajista on kohdannut työurallaan fyysistä väkivaltaa ja 62 prosenttia väkivallalla uhkailua. Silti lähes puolessa tapauksista tilanteesta ei tehty mitään virallista ilmoitusta.
Kultananoklustereista apua sairauksien tunnistamiseen?16.3.2026 07:05:00 EET | Tiedote
Jyväskylän yliopiston tutkijoiden laaja laskennallinen tutkimus ennusti, että kultananoklusterit voivat tunnistaa kiraalisia biomolekyylejä valikoivasti. Tämä ominaisuus voi auttaa havaitsemaan tiettyjä sairauksia suoraan verinäytteestä.
Aivoviikon tapahtuma Jyväskylän yliopistossa: miten oppiminen muokkaa aivojamme?13.3.2026 08:52:43 EET | Tiedote
Miten oppiminen, liike, uni ja ympäristö muovaavat aivojamme? Näihin kysymyksiin pureudutaan Jyväskylän yliopiston Aivoviikon yleisötilaisuudessa Oppivat ja muovautuvat aivot tiistaina 17.3.2026. Kaikille avoin tapahtuma järjestetään yliopiston Lähde-kirjaston Tietoniekka-tilassa sekä verkossa.
Uutishuoneessa voit lukea tiedotteitamme ja muuta julkaisemaamme materiaalia. Löydät sieltä niin yhteyshenkilöidemme tiedot kuin vapaasti julkaistavissa olevia kuvia ja videoita. Uutishuoneessa voit nähdä myös sosiaalisen median sisältöjä. Kaikki tiedotepalvelussa julkaistu materiaali on vapaasti median käytettävissä.
Tutustu uutishuoneeseemme