Väitös 16.9.2022: Syvällisempi ymmärrys atomikerroskasvatuksesta parantaa älylaitteissakin tarvittavia ohutkalvoja (Kinnunen)
Ohuimmillaan muutaman nanometrin paksuisista ALD-kalvoista prosessoidaan puolijohteiden päälle eristäviä ja johtavia kalvoja. Tuloksena saadaan mikroprosessoreita, muisteja ja muita komponentteja.
Atomikerroskasvatusprosesseja on nykyisin satoja kymmenille eri materiaaleille, ja puolijohdeteollisuuden lisäksi niitä voidaan käyttää aurinkopaneeleissa, pakkausmateriaaleissa, hopean suojaamisessa tummumiselta ja lukemattomissa muissa tarkoituksissa. Väitöskirjassaan Sami Kinnunen tutki alumiini- ja sinkkioksidikalvoihin ALD-pinnoituksessa päätyviä epäpuhtauksia.
”Ohutkalvoihin jää usein erityisesti vetyä epäpuhtautena. Vedyn alkuperä tai mekanismi, jolla se kalvoihin päätyy, ei ole useinkaan tiedossa. Matalissa prosessilämpötiloissa kalvon atomeista yli viidennes voi olla vetyä, ja se vaikuttaa merkittävästi ohutkalvon ominaisuuksiin”, Sami Kinnunen kertoo.
Vetyepäpuhtaus voi päätyä kalvoon joko metallilähdeaineesta tai vedestä, josta oksidikalvot saavat happensa. Väitöskirjassa kalvojen happilähdeaineena käytettiin normaalin veden sijasta muun muassa raskasta vettä, jonka sisältämä deuterium voidaan erottaa metallilähdeaineista peräisin olevasta vedystä.
Vetyepäpuhtauksien havaitseminen onnistuu vain harvoilla menetelmillä
Kevyimpänä alkuaineena vety on hankala havaita ja vain muutama karakterisointimenetelmä pystyy havaitsemaan sen kalvoista.
”Jyväskylän yliopiston kiihdytinpohjaisen materiaalitutkimusryhmän käytössä oleva lentoaika-rekyylispektrometria on yksi harvoista menetelmistä vedyn määrän mittaamiseen. Sillä voidaan havaita ohutkalvoista sekä vety että jopa erottaa sen eri isotoopit toisistaan. Siten menetelmä sopii kuin nenä päähän minun tutkimustani ajatellen”, Kinnunen iloitsee. Jyväskylässä onkin vahvaa erikoisosaamista ionisuihkupohjaisiin analyysimenetelmiin ja laitteistoja on rakennettu myös muille yliopistoille.
Tutkimuksissa paljastui, että vetyä kalvoihin jättävä lähdeaine vaihtui prosessilämpötilaa nostettaessa. Vedyn määrä oli myös vahvasti riippuvainen huuhtelujen pituudesta lähdeainepulssien välissä. Tämä on tärkeä uusi tieto ja sillä on merkittävä vaikutus epäpuhtauksien määrän minimoimiseen tähtäävässä prosessien kehityksessä.
Atomikerroskasvatus aloitti maailmanvalloituksensa Suomesta, kun Tuomo Suntola patentoi menetelmän vuonna 1974. Hän saikin keksinnöstään Millenium-palkinnon 2018.
Tutkimus on toteutettu Jyväskylän yliopiston fysiikan laitoksen kiihdytinlaboratoriossa ja Nanotiedekeskuksessa.
Sami Kinnunen kirjoitti ylioppilaaksi Suonenjoen lukiosta 2009 ja filosofian maiseriksi hän valmistui 2015 Jyväskylän yliopistosta fysiikan laitokselta.
FM Sami Kinnusen väitöskirjan ” Hydrogen incorporation in Al2O3 and ZnO thin films grown by atomic layer deposition” tarkastustilaisuus perjantaina 16.9.2022 klo 12. Vastaväittäjänä professori Matti Putkonen (Helsingin yliopisto) ja kustoksena professori Timo Sajavaara. Väitöstilaisuuden kieli on suomi.
Tilaisuutta voi seurata myös etänä: https://r.jyu.fi/dissertation-kinnunen-160922
Avainsanat
Yhteyshenkilöt
Sami Kinnunen
sami.a.kinnunen@jyu.fi
Vesa HolmViestinnän asiantuntija
Puh:+358504733483vesa.j.holm@jyu.fiKuvat
Linkit
Tietoja julkaisijasta
Jyväskylän keskustassa sijaitsevan yliopiston kauniilla puistokampuksella sykkii monitieteinen ja moderni tiedeyliopisto – ihmisläheinen ja dynaaminen yhteisö, jonka 2500 asiantuntijaa ja 15 000 opiskelijaa etsivät ja löytävät vastauksia huomisen kysymyksiin. Jyväskylän yliopisto on ollut tulevaisuuden palveluksessa jo vuodesta 1863, jolloin suomenkielinen opettajankoulutus sai alkunsa täältä. Voimanlähteenämme on moniarvoinen vuoropuhelu tutkimuksen, koulutuksen ja yhteiskunnan välillä. Vaalimme tutkimuksen ja koulutuksen tasapainoa sekä ajattelun avoimuutta – sytytämme taidon, tiedon ja intohimon elää viisaasti ihmiskunnan parhaaksi. www.jyu.fi
Tilaa tiedotteet sähköpostiisi
Haluatko tietää asioista ensimmäisten joukossa? Kun tilaat tiedotteemme, saat ne sähköpostiisi välittömästi julkaisuhetkellä. Tilauksen voit halutessasi perua milloin tahansa.
Lue lisää julkaisijalta Jyväskylän yliopisto
Kolmas toimitus maailmalle – Jyväskylän spektrometrit kiinnostavat kansainvälisesti22.10.2025 07:05:00 EEST | Tiedote
Jyväskylän yliopiston fysiikan laitoksen kiihdytinlaboratoriossa on jälleen valmistunut huipputason rekyylispektrometri, joka toimitettiin Oslon yliopiston tutkimusinstituuttiin. Kyseessä on jo kolmas kokonainen toimitettu laitteisto ohjelmistoineen, asennuksineen ja koulutuksineen. Laitteisto asennettiin tällä kertaa puhdastilaan, jossa piikiekkoja käsitellään suojavarusteet päällä. Tämä toimitus oli vahva osoitus Jyväskylän yliopiston toimittaman järjestelmän suorituskyvystä vaativassa ja tarkasti säädellyssä ympäristössä.
Kun data päättää lapsen urheilupolusta – uusi tutkimus etsii oikeudenmukaisempia tapoja valita lahjakkuuksia21.10.2025 08:00:00 EEST | Tiedote
Juniorijoukkueiden pelaajavalinnat herättävät keskustelua ja tunteita. Uusi Jyväskylän yliopiston johtama tutkimushanke tutkii, miten dataperustainen lahjakkuuden tunnistaminen ja varhaiset valinnat vaikuttavat junioriurheilun eettisyyteen ja yhdenvertaisuuteen.
Iäkkäiden näkökyky ja kuuloaisti parantuneet - sukupolvien välinen vertailu paljastaa muutoksen21.10.2025 07:00:00 EEST | Tiedote
Jyväskylän yliopiston Gerontologian tutkimuskeskuksen tutkimus osoittaa, että 75- ja 80-vuotiaiden näkökyky on parantunut merkittävästi viimeisten vuosikymmenten aikana. Nykyään iäkkäät kokevat vähemmän näkö- ja kuulovaikeuksia kuin ikätoverinsa 1990-luvulla.
Fysioterapiaa VR-laseissa – Jyväskylän yliopiston tutkijat kehittäneet uutta fysioterapiaa aivoinfarktipotilaille20.10.2025 07:58:00 EEST | Tiedote
Jyväskylän yliopiston tutkijaryhmä on kehittänyt ja testannut uutta virtuaalitodellisuuteen (VR) perustuvaa tapaa tehdä fysioterapiaharjoitteita. Harjoitteet on suunniteltu aivoinfarktista toipuville henkilöille, jotka kärsivät avaruudellisen hahmottamisen häiriöstä. Kyseessä on invalidisoiva tila, joka vaikuttaa huomiokykyyn ja tilan hahmottamiseen toispuoleisesti. Tämä on yksi ensimmäisistä kokeellisista tapaustutkimuksista, joissa kuntoutumista tuetaan lisäämällä virtuaalitodellisuudessa suoritettaviin fysioterapiapohjaisiin harjoitteisiin audiovisuaalisia vihjeitä.
Väitös: Aikuissosiaalityön tietopohja rakentuu moniäänisesti ja jännitteisessä toimintaympäristössä16.10.2025 08:00:00 EEST | Tiedote
YTM Tuija Kuorikosken sosiaalityön väitöstutkimus tarkastelee aikuissosiaalityön ammattilaisten ja asiakkaiden kokemustiedosta, teoreettisesta- ja tutkimustiedosta sekä hallinnollisista vaatimuksista rakentuvaa tietopohjaa. Väitöstutkimus osoittaa, että nämä tiedonmuodot eivät aina kohtaa: niitä ohjaavat erilaiset arvot ja tavoitteet, jotka voivat olla keskenään ristiriidassa. Tutkimuksen mukaan moniäänisyys haastaa tietopohjan rakentumista, mutta samalla myös rikastuttaa sitä.
Uutishuoneessa voit lukea tiedotteitamme ja muuta julkaisemaamme materiaalia. Löydät sieltä niin yhteyshenkilöidemme tiedot kuin vapaasti julkaistavissa olevia kuvia ja videoita. Uutishuoneessa voit nähdä myös sosiaalisen median sisältöjä. Kaikki tiedotepalvelussa julkaistu materiaali on vapaasti median käytettävissä.
Tutustu uutishuoneeseemme